IT之家10月15日消息 據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》,光刻機(jī)制造商阿斯麥 ASML 公布了 EUV 路線圖上的新機(jī)型 TWINSCANNXE:3600D 的最終規(guī)格,這是 30mJ/cm2 的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光 160 片晶圓,提高了 18% 的生產(chǎn)率,并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至 1.1 納米,計(jì)劃于 2021 年的中期開始發(fā)貨。
IT之家曾報(bào)道,ASML 昨日公布了三季度財(cái)報(bào):第三季度銷售額為 40 億歐元,凈利潤(rùn) 11 億歐元,毛利率 47.5%,凈利率 27.5%,第三季度新增訂單 29 億歐元。
據(jù)外媒報(bào)道,ASML 向客戶交付并可確認(rèn)收入的光刻機(jī)達(dá) 60 臺(tái)。其中,14 臺(tái)為極紫外光刻機(jī),較上一季度增加 7 臺(tái),但整體的交付量較上一季度減少了 1 臺(tái)。
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