6 月 1 日消息,江蘇南大光電材料股份有限公司發(fā)布公告稱,寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱“寧波南大光電”)自主研發(fā)的 ArF 光刻膠產品繼 2020 年 12 月在一家存儲芯片制造企業(yè)的 50nm 閃存平臺上通過認證后,近日又在邏輯芯片制造企業(yè) 55nm 技術節(jié)點的產品上取得了認證突破。
據(jù)悉本次認證系選擇客戶 55nm 技術節(jié)點邏輯芯片產品的工藝進行驗證,寧波南大光電研發(fā)的 ArF 光刻膠的測試良率結果符合要求,表明其具備 55nm 平臺后段金屬布線層的工藝要求。
ArF 光刻膠材料是集成電路制造領域的重要關鍵材料,可以用于 90nm-14nm 甚至 7nm 技術節(jié)點的集成電路制造工藝。廣泛應用于高端芯片制造(如邏輯芯片、存儲芯片、AI 芯片、5G 芯片和云計算芯片等)。ArF 光刻膠的市場前景好于預期。隨著國內 IC 行業(yè)的快速發(fā)展,自主創(chuàng)新和國產化步伐的加快,以及先進制程工藝的應用,將大大拉動光刻膠的用量。
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