6 月 26 日報(bào)道,昨天,半導(dǎo)體設(shè)備廠商北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司(以下簡稱屹唐股份)申報(bào)科創(chuàng)板 IPO 獲受理。
屹唐股份主營業(yè)務(wù)為干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備等集成電路制造設(shè)備及配套工藝解決方案,去膠、熱處理和刻蝕都是晶圓加工的重要環(huán)節(jié)。
▲集成電路前道芯片制造工藝流程
根據(jù)美國市場分析公司 Gartner 的數(shù)據(jù),2020 年屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備的市場占有率分別位居全球第一、第二。
屹唐股份的主要經(jīng)營主體為美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商 Mattson Technology Inc.(MTI)。MTI 原為美國納斯達(dá)克證券交易所上市公司,2016 年屹唐股份完成其私有化收購,MTI 從美股退市。
目前,MTI 主要承擔(dān)屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售等職能。
▲屹唐股份下屬子公司、分公司架構(gòu)圖
報(bào)告期內(nèi),屹唐股份營收呈增長趨勢,2018 年-2020 年?duì)I收分別為 15.18 億元、15.73 億元和 23.13 億元。
屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心(有限合伙),間接控股股東為亦莊產(chǎn)投和亦莊國投,均為國資背景。屹唐股份的實(shí)際控制人則為財(cái)政審計(jì)局。
本次 IPO,屹唐股份計(jì)劃發(fā)行股份不超過 46941 萬股,擬募集資金 30 億元,用于“屹唐半導(dǎo)體集成電路裝備研發(fā)制造服務(wù)中心”、“屹唐半導(dǎo)體高端集成電路裝備研發(fā)”以及“發(fā)展和科技儲備資金”3 個(gè)項(xiàng)目。
▲屹唐股份股權(quán)結(jié)構(gòu)圖
一、年?duì)I收 23 億,設(shè)備銷售占 7 成
根據(jù)招股書,屹唐股份 2018 年-2020 年復(fù)合增長率為 23.41%,2020 年度營業(yè)收入較 2019 年同比增長 46.96%。該公司 2018 年、2019 年、2020 年?duì)I收分別為 15.18 億元、15.73 億元和 23.13 億元。
凈利潤方面,屹唐股份 2019 年變化幅度較大,其 2018 年-2020 年凈利潤分別為 2395.83 萬元、-8813.98 萬元和 2476.16 萬元。招股書顯示,2019 年屹唐股份凈利潤為負(fù)主要是因?yàn)槠浔本┲圃旎禺?dāng)年建成投產(chǎn),此后屹唐股份盈利情況得到改善。
▲屹唐股份 2018 年-2020 年?duì)I收及凈利潤變化
屹唐股份的營收按照產(chǎn)品構(gòu)成可分為四種類型,為專用設(shè)備銷售、備品備件、服務(wù)和特許權(quán)使用費(fèi)。
其中,專用設(shè)備銷售包括干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備 3 類,是屹唐股份的主要收入來源。2020 年專用設(shè)備銷售金額達(dá) 16.93 億元,占總營收比例為 73.23%。截至 2020 年末,屹唐股份專用設(shè)備累計(jì)裝機(jī)數(shù)量超過 3700 臺。
▲屹唐股份 2020 年個(gè)主營業(yè)務(wù)收入占比
就地區(qū)來說,境外企業(yè)采購金額占屹唐股份比例較高,但其中國大陸地區(qū)銷售收入逐年增長。2020 年中國大陸已成為屹唐股份收入最多的地區(qū)。
2020 年,屹唐股份在中國大陸地區(qū)、韓國、中國臺灣地區(qū)、日本、歐洲、美國、新加坡等國家和地區(qū)營收占比分別為 42.12%、23.66%、15.50%、6.00%、5.23%、4.33% 和 3.04%,其他國家和地區(qū)總計(jì)收入占比為 0.12%。
二、前五大客戶名單未給出,日本 Rorze 為最大供應(yīng)商
屹唐股份的主要產(chǎn)品有干法去膠、快速熱處理、干法刻蝕設(shè)備,主要的客戶群體為臺積電、三星電子、中芯國際、長江存儲、格芯、美光、SK 海力士等半導(dǎo)體廠商。
屹唐股份的銷售模式可分為直銷及經(jīng)銷,其絕大部分銷售直接面對終端客戶,屹唐股份在日本市場則通過佳能營銷公司進(jìn)行經(jīng)銷。
值得一提的是,屹唐股份并未給出其前五大客戶具體名稱,只是以客戶 A、B、C、D、E、F、G、H 替代。
屹唐股份招股書中提到,其間接控股股東亦莊國投持有中芯北方集成電路制造(北京)有限公司 5.75% 股份,屹唐股份董事也在中芯北方擔(dān)任監(jiān)事。中芯北方則是屹唐股份報(bào)告期內(nèi)的前五大客戶中芯國際的子公司。
報(bào)告期內(nèi),屹唐股份主要的采購項(xiàng)目較多,主要可分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣體傳輸系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、氣動系統(tǒng)類、儀器儀表類等。
日本電機(jī)、半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商 Rorze Corporation 在三年內(nèi)一直是屹唐股份的最大供應(yīng)商。
▲屹唐股份前五大供應(yīng)商名單
三、干法去膠細(xì)分領(lǐng)域世界第一,核心技術(shù)人員均出自應(yīng)用材料
根據(jù)招股書,屹唐股份的干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備可用于 90nm 到 5nm 邏輯芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 層到 128 層 3D 閃存芯片;其干法刻蝕設(shè)備主要可用于 65nm 到 5nm 邏輯芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 層到 128 層 3D 閃存芯片制造。
近年來,全球集成電路制造干法去膠設(shè)備領(lǐng)域呈現(xiàn)多寡頭競爭的發(fā)展趨勢,全球干法去膠設(shè)備領(lǐng)域的主要參與者包括屹唐股份、比思科、日立高新、泛林半導(dǎo)體、泰仕半導(dǎo)體等。
根據(jù) Gartner 統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),2018 年-2020 年,干法去膠設(shè)備領(lǐng)域屹唐股份分別位于全球第三、全球第二和全球第一的市場地位,市場占有率逐年提升。
在國內(nèi)去膠設(shè)備市場上,屹唐股份也處于市場領(lǐng)先地位。
據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)公開數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2020 年,國內(nèi)存儲芯片制造企業(yè)長江存儲通過招投標(biāo)方式采購的 27 臺去膠設(shè)備中,24 臺由屹唐股份提供,所占份額達(dá) 88.89%;中國邏輯電路制造企業(yè)華虹集團(tuán)通過招投標(biāo)方式采購的 11 臺去膠設(shè)備中,10 臺由屹唐股份提供,占比達(dá) 90.91%。
▲2020 年全球干法去膠設(shè)備市場競爭格局(來源:屹唐股份招股書)
在快速熱處理設(shè)備市場中,美國半導(dǎo)體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料占據(jù)了絕對領(lǐng)先地位。屹唐股份則以 11.50% 的市場份額位居第二。
當(dāng)前,屹唐股份的客戶已覆蓋臺積電、三星電子、中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲等半導(dǎo)體制造廠商。
▲2020 年全球快速熱處理設(shè)備市場競爭格局(來源:屹唐股份招股書)
而在干法刻蝕設(shè)備市場中,美國應(yīng)用材料、美國泛林集團(tuán)和日本東京電子擁有超過 90% 以上市場份額,國產(chǎn)廠商市場份額較少。事實(shí)上,屹唐股份、中微公司和北方華創(chuàng)等是國內(nèi)少數(shù)可以量產(chǎn)刻蝕設(shè)備的廠商。
目前,屹唐股份的刻蝕設(shè)備已應(yīng)用于三星電子、長江存儲等存儲芯片制造企業(yè)。
▲2020 年全球干法刻蝕設(shè)備市場競爭格局(來源:屹唐股份招股書)
報(bào)告期內(nèi),2018 年-2020 年屹唐股份研發(fā)投入占營收比例分別為 14.20%、17.75% 和 16.75%。在這樣的研發(fā)投入下,屹唐股份共擁有專利 309 項(xiàng)。公司研發(fā)人員共 124 人,占員工總數(shù)的 20.46%。
屹唐股份核心技術(shù)人員 5 人,為屹唐股份董事、總裁兼首席執(zhí)行官 Hao Allen Lu(陸郝安)、副總裁兼首席產(chǎn)品官 Schubert S. Chu、副總裁兼首席技術(shù)官 Michael Xiaoxuan Yang(楊曉晅)、MTI 等離子體產(chǎn)品事業(yè)部成員龍茂林和 MTI 等離子體產(chǎn)品事業(yè)部成員 Hua Chung(仲華),這五人都曾在應(yīng)用材料任職。
其中,Hao Allen Lu、Schubert S. Chu 和 Michael Xiaoxuan Yang 也是屹唐股份的高級管理人員。
具體來說,Hao Allen Lu(陸郝安)為美國弗吉尼亞大學(xué)固態(tài)物理學(xué)博士,1994 年 2 月至 1997 年 7 月,任應(yīng)用材料高級工藝工程師及項(xiàng)目主管;1997 年 7 月至 2009 年 8 月,Hao Allen Lu 歷任英特爾加州技術(shù)制造部主任工程師、技術(shù)制造部資深主任工程師、掩膜刻蝕部門負(fù)責(zé)人、中國區(qū)公共事務(wù)部總監(jiān)、技術(shù)制造工程部中國芯片廠項(xiàng)目主管等職務(wù);2009 年 8 月至 2016 年 5 月,他擔(dān)任了 SEMI 全球副總裁和中國區(qū)總裁。
此后,Hao Allen Lu 任 MTI 執(zhí)行董事兼副董事長、總裁兼首席執(zhí)行官;屹唐股份收購 MTI 后,他擔(dān)任屹唐有限及 MTI 董事、總裁兼首席執(zhí)行官;2020 年 12 月至今,Hao Allen Lu 為屹唐股份及 MTI 董事、總裁兼首席執(zhí)行官。
Michael Xiaoxuan Yang(楊曉晅)1995 年于美國哥倫比亞大學(xué)表面化學(xué)專業(yè)畢業(yè),獲博士學(xué)位。1995 年-1997 年 Michael Xiaoxuan Yang 為美國勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室研究員;1997 年 4 月,他任應(yīng)用材料產(chǎn)品部門總經(jīng)理等職務(wù)。
此后,Michael Xiaoxuan Yang 在 Varian Semiconductor Equipment Associates 任職,還創(chuàng)建了 Sil Icon Systems 公司。2016 年,Michael Xiaoxuan Yang 任 MTI 首席技術(shù)官;2018 年,他擔(dān)任屹唐有限首席技術(shù)官一職;2020 年 12 月至今,Michael Xiaoxuan Yang 任屹唐股份副總裁兼首席技術(shù)官。
1999 年,Schubert S. Chu 于加利福尼亞大學(xué)伯克利分校取得博士學(xué)位,此后在應(yīng)用材料任多個(gè)技術(shù)和管理崗位,并在 2017 年成為了應(yīng)用材料 EPI 產(chǎn)品部門副總裁兼業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁。2021 年 1 月至今,他在屹唐股份任副總裁兼首席產(chǎn)品管。
四、財(cái)政審計(jì)局為實(shí)際控制人
屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心(有限合伙),持有 45.05% 的公司股份。
屹唐盛龍的執(zhí)行事務(wù)合伙人為亦莊產(chǎn)投,根據(jù)其《合伙協(xié)議》,亦莊產(chǎn)投對外代表企業(yè),間接控制屹唐股份 45.05% 的表決權(quán)。亦莊國投則持有亦莊產(chǎn)投 100% 的股權(quán)。
需要指出的是,亦莊產(chǎn)投和亦莊國投的法定代表人均為楊永政,其也是屹唐股份董事長。財(cái)政審計(jì)局則持有亦莊國投 100% 的股權(quán),為屹唐股份實(shí)際控制人。
其他持有屹唐股份 5% 以上股份或表決權(quán)的還有 BH1、BH2 和寧波義方、海松非凡、環(huán)旭創(chuàng)芯和華瑞世紀(jì)等。
▲屹唐股份股東名單
結(jié)語:半導(dǎo)體設(shè)備市場利好,屹唐股份能否把握機(jī)遇?
當(dāng)前,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場主要由應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)、東京電子等美、日廠商所主導(dǎo)。但是在全球缺芯當(dāng)下,臺積電、三星電子、格芯、聯(lián)電等諸多廠商開始建廠擴(kuò)容,這也帶來了半導(dǎo)體設(shè)備市場的機(jī)遇。
根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù),今、明兩年全球?qū)?29 家晶圓廠開工,預(yù)計(jì)會帶來 1400 億美元的設(shè)備訂單。其中,中國大陸將會新增 8 家晶圓廠,這或許將為屹唐股份等國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商帶來豐厚的營收和利潤。這樣的情況下,屹唐股份如果能夠成功上市,會對其接下來的市場份額爭奪有著積極的意義。
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