6 月 26 日?qǐng)?bào)道，昨天，半導(dǎo)體設(shè)備廠商北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱屹唐股份）申報(bào)科創(chuàng)板 IPO 獲受理。
屹唐股份主營(yíng)業(yè)務(wù)為干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備等集成電路制造設(shè)備及配套工藝解決方案，去膠、熱處理和刻蝕都是晶圓加工的重要環(huán)節(jié)。
▲集成電路前道芯片制造工藝流程
根據(jù)美國(guó)市場(chǎng)分析公司 Gartner 的數(shù)據(jù)，2020 年屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備的市場(chǎng)占有率分別位居全球第一、第二。
屹唐股份的主要經(jīng)營(yíng)主體為美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商 Mattson Technology Inc.（MTI）。MTI 原為美國(guó)納斯達(dá)克證券交易所上市公司，2016 年屹唐股份完成其私有化收購(gòu)，MTI 從美股退市。
目前，MTI 主要承擔(dān)屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售等職能。
▲屹唐股份下屬子公司、分公司架構(gòu)圖
報(bào)告期內(nèi)，屹唐股份營(yíng)收呈增長(zhǎng)趨勢(shì)，2018 年-2020 年?duì)I收分別為 15.18 億元、15.73 億元和 23.13 億元。
屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙），間接控股股東為亦莊產(chǎn)投和亦莊國(guó)投，均為國(guó)資背景。屹唐股份的實(shí)際控制人則為財(cái)政審計(jì)局。
本次 IPO，屹唐股份計(jì)劃發(fā)行股份不超過(guò) 46941 萬(wàn)股，擬募集資金 30 億元，用于“屹唐半導(dǎo)體集成電路裝備研發(fā)制造服務(wù)中心”、“屹唐半導(dǎo)體高端集成電路裝備研發(fā)”以及“發(fā)展和科技儲(chǔ)備資金”3 個(gè)項(xiàng)目。
▲屹唐股份股權(quán)結(jié)構(gòu)圖
一、年?duì)I收 23 億，設(shè)備銷(xiāo)售占 7 成
根據(jù)招股書(shū)，屹唐股份 2018 年-2020 年復(fù)合增長(zhǎng)率為 23.41%，2020 年度營(yíng)業(yè)收入較 2019 年同比增長(zhǎng) 46.96%。該公司 2018 年、2019 年、2020 年?duì)I收分別為 15.18 億元、15.73 億元和 23.13 億元。
凈利潤(rùn)方面，屹唐股份 2019 年變化幅度較大，其 2018 年-2020 年凈利潤(rùn)分別為 2395.83 萬(wàn)元、-8813.98 萬(wàn)元和 2476.16 萬(wàn)元。招股書(shū)顯示，2019 年屹唐股份凈利潤(rùn)為負(fù)主要是因?yàn)槠浔本┲圃旎禺?dāng)年建成投產(chǎn)，此后屹唐股份盈利情況得到改善。
▲屹唐股份 2018 年-2020 年?duì)I收及凈利潤(rùn)變化
屹唐股份的營(yíng)收按照產(chǎn)品構(gòu)成可分為四種類型，為專用設(shè)備銷(xiāo)售、備品備件、服務(wù)和特許權(quán)使用費(fèi)。
其中，專用設(shè)備銷(xiāo)售包括干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備 3 類，是屹唐股份的主要收入來(lái)源。2020 年專用設(shè)備銷(xiāo)售金額達(dá) 16.93 億元，占總營(yíng)收比例為 73.23%。截至 2020 年末，屹唐股份專用設(shè)備累計(jì)裝機(jī)數(shù)量超過(guò) 3700 臺(tái)。
▲屹唐股份 2020 年個(gè)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入占比
就地區(qū)來(lái)說(shuō)，境外企業(yè)采購(gòu)金額占屹唐股份比例較高，但其中國(guó)大陸地區(qū)銷(xiāo)售收入逐年增長(zhǎng)。2020 年中國(guó)大陸已成為屹唐股份收入最多的地區(qū)。
2020 年，屹唐股份在中國(guó)大陸地區(qū)、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)、日本、歐洲、美國(guó)、新加坡等國(guó)家和地區(qū)營(yíng)收占比分別為 42.12%、23.66%、15.50%、6.00%、5.23%、4.33% 和 3.04%，其他國(guó)家和地區(qū)總計(jì)收入占比為 0.12%。
二、前五大客戶名單未給出，日本 Rorze 為最大供應(yīng)商
屹唐股份的主要產(chǎn)品有干法去膠、快速熱處理、干法刻蝕設(shè)備，主要的客戶群體為臺(tái)積電、三星電子、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、格芯、美光、SK 海力士等半導(dǎo)體廠商。
屹唐股份的銷(xiāo)售模式可分為直銷(xiāo)及經(jīng)銷(xiāo)，其絕大部分銷(xiāo)售直接面對(duì)終端客戶，屹唐股份在日本市場(chǎng)則通過(guò)佳能營(yíng)銷(xiāo)公司進(jìn)行經(jīng)銷(xiāo)。
值得一提的是，屹唐股份并未給出其前五大客戶具體名稱，只是以客戶 A、B、C、D、E、F、G、H 替代。
屹唐股份招股書(shū)中提到，其間接控股股東亦莊國(guó)投持有中芯北方集成電路制造（北京）有限公司 5.75% 股份，屹唐股份董事也在中芯北方擔(dān)任監(jiān)事。中芯北方則是屹唐股份報(bào)告期內(nèi)的前五大客戶中芯國(guó)際的子公司。
報(bào)告期內(nèi)，屹唐股份主要的采購(gòu)項(xiàng)目較多，主要可分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣體傳輸系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、氣動(dòng)系統(tǒng)類、儀器儀表類等。
日本電機(jī)、半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商 Rorze Corporation 在三年內(nèi)一直是屹唐股份的最大供應(yīng)商。
▲屹唐股份前五大供應(yīng)商名單
三、干法去膠細(xì)分領(lǐng)域世界第一，核心技術(shù)人員均出自應(yīng)用材料
根據(jù)招股書(shū)，屹唐股份的干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備可用于 90nm 到 5nm 邏輯芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 層到 128 層 3D 閃存芯片；其干法刻蝕設(shè)備主要可用于 65nm 到 5nm 邏輯芯片、10nm 系列 DRAM 芯片以及 32 層到 128 層 3D 閃存芯片制造。
近年來(lái)，全球集成電路制造干法去膠設(shè)備領(lǐng)域呈現(xiàn)多寡頭競(jìng)爭(zhēng)的發(fā)展趨勢(shì)，全球干法去膠設(shè)備領(lǐng)域的主要參與者包括屹唐股份、比思科、日立高新、泛林半導(dǎo)體、泰仕半導(dǎo)體等。
根據(jù) Gartner 統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2018 年-2020 年，干法去膠設(shè)備領(lǐng)域屹唐股份分別位于全球第三、全球第二和全球第一的市場(chǎng)地位，市場(chǎng)占有率逐年提升。
在國(guó)內(nèi)去膠設(shè)備市場(chǎng)上，屹唐股份也處于市場(chǎng)領(lǐng)先地位。
據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公開(kāi)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2020 年，國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)長(zhǎng)江存儲(chǔ)通過(guò)招投標(biāo)方式采購(gòu)的 27 臺(tái)去膠設(shè)備中，24 臺(tái)由屹唐股份提供，所占份額達(dá) 88.89%；中國(guó)邏輯電路制造企業(yè)華虹集團(tuán)通過(guò)招投標(biāo)方式采購(gòu)的 11 臺(tái)去膠設(shè)備中，10 臺(tái)由屹唐股份提供，占比達(dá) 90.91%。
▲2020 年全球干法去膠設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局（來(lái)源：屹唐股份招股書(shū)）
在快速熱處理設(shè)備市場(chǎng)中，美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料占據(jù)了絕對(duì)領(lǐng)先地位。屹唐股份則以 11.50% 的市場(chǎng)份額位居第二。
當(dāng)前，屹唐股份的客戶已覆蓋臺(tái)積電、三星電子、中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等半導(dǎo)體制造廠商。
▲2020 年全球快速熱處理設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局（來(lái)源：屹唐股份招股書(shū)）
而在干法刻蝕設(shè)備市場(chǎng)中，美國(guó)應(yīng)用材料、美國(guó)泛林集團(tuán)和日本東京電子擁有超過(guò) 90% 以上市場(chǎng)份額，國(guó)產(chǎn)廠商市場(chǎng)份額較少。事實(shí)上，屹唐股份、中微公司和北方華創(chuàng)等是國(guó)內(nèi)少數(shù)可以量產(chǎn)刻蝕設(shè)備的廠商。
目前，屹唐股份的刻蝕設(shè)備已應(yīng)用于三星電子、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)。
▲2020 年全球干法刻蝕設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局（來(lái)源：屹唐股份招股書(shū)）
報(bào)告期內(nèi)，2018 年-2020 年屹唐股份研發(fā)投入占營(yíng)收比例分別為 14.20%、17.75% 和 16.75%。在這樣的研發(fā)投入下，屹唐股份共擁有專利 309 項(xiàng)。公司研發(fā)人員共 124 人，占員工總數(shù)的 20.46%。
屹唐股份核心技術(shù)人員 5 人，為屹唐股份董事、總裁兼首席執(zhí)行官 Hao Allen Lu（陸郝安）、副總裁兼首席產(chǎn)品官 Schubert S. Chu、副總裁兼首席技術(shù)官 Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）、MTI 等離子體產(chǎn)品事業(yè)部成員龍茂林和 MTI 等離子體產(chǎn)品事業(yè)部成員 Hua Chung（仲華），這五人都曾在應(yīng)用材料任職。
其中，Hao Allen Lu、Schubert S. Chu 和 Michael Xiaoxuan Yang 也是屹唐股份的高級(jí)管理人員。
具體來(lái)說(shuō)，Hao Allen Lu（陸郝安）為美國(guó)弗吉尼亞大學(xué)固態(tài)物理學(xué)博士，1994 年 2 月至 1997 年 7 月，任應(yīng)用材料高級(jí)工藝工程師及項(xiàng)目主管；1997 年 7 月至 2009 年 8 月，Hao Allen Lu 歷任英特爾加州技術(shù)制造部主任工程師、技術(shù)制造部資深主任工程師、掩膜刻蝕部門(mén)負(fù)責(zé)人、中國(guó)區(qū)公共事務(wù)部總監(jiān)、技術(shù)制造工程部中國(guó)芯片廠項(xiàng)目主管等職務(wù)；2009 年 8 月至 2016 年 5 月，他擔(dān)任了 SEMI 全球副總裁和中國(guó)區(qū)總裁。
此后，Hao Allen Lu 任 MTI 執(zhí)行董事兼副董事長(zhǎng)、總裁兼首席執(zhí)行官；屹唐股份收購(gòu) MTI 后，他擔(dān)任屹唐有限及 MTI 董事、總裁兼首席執(zhí)行官；2020 年 12 月至今，Hao Allen Lu 為屹唐股份及 MTI 董事、總裁兼首席執(zhí)行官。
Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）1995 年于美國(guó)哥倫比亞大學(xué)表面化學(xué)專業(yè)畢業(yè)，獲博士學(xué)位。1995 年-1997 年 Michael Xiaoxuan Yang 為美國(guó)勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室研究員；1997 年 4 月，他任應(yīng)用材料產(chǎn)品部門(mén)總經(jīng)理等職務(wù)。
此后，Michael Xiaoxuan Yang 在 Varian Semiconductor Equipment Associates 任職，還創(chuàng)建了 Sil Icon Systems 公司。2016 年，Michael Xiaoxuan Yang 任 MTI 首席技術(shù)官；2018 年，他擔(dān)任屹唐有限首席技術(shù)官一職；2020 年 12 月至今，Michael Xiaoxuan Yang 任屹唐股份副總裁兼首席技術(shù)官。
1999 年，Schubert S. Chu 于加利福尼亞大學(xué)伯克利分校取得博士學(xué)位，此后在應(yīng)用材料任多個(gè)技術(shù)和管理崗位，并在 2017 年成為了應(yīng)用材料 EPI 產(chǎn)品部門(mén)副總裁兼業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁。2021 年 1 月至今，他在屹唐股份任副總裁兼首席產(chǎn)品管。
四、財(cái)政審計(jì)局為實(shí)際控制人
屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙），持有 45.05% 的公司股份。
屹唐盛龍的執(zhí)行事務(wù)合伙人為亦莊產(chǎn)投，根據(jù)其《合伙協(xié)議》，亦莊產(chǎn)投對(duì)外代表企業(yè)，間接控制屹唐股份 45.05% 的表決權(quán)。亦莊國(guó)投則持有亦莊產(chǎn)投 100% 的股權(quán)。
需要指出的是，亦莊產(chǎn)投和亦莊國(guó)投的法定代表人均為楊永政，其也是屹唐股份董事長(zhǎng)。財(cái)政審計(jì)局則持有亦莊國(guó)投 100% 的股權(quán)，為屹唐股份實(shí)際控制人。
其他持有屹唐股份 5% 以上股份或表決權(quán)的還有 BH1、BH2 和寧波義方、海松非凡、環(huán)旭創(chuàng)芯和華瑞世紀(jì)等。
▲屹唐股份股東名單
結(jié)語(yǔ)：半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)利好，屹唐股份能否把握機(jī)遇？
當(dāng)前，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)主要由應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)、東京電子等美、日廠商所主導(dǎo)。但是在全球缺芯當(dāng)下，臺(tái)積電、三星電子、格芯、聯(lián)電等諸多廠商開(kāi)始建廠擴(kuò)容，這也帶來(lái)了半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的機(jī)遇。
根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，今、明兩年全球?qū)?huì)有 29 家晶圓廠開(kāi)工，預(yù)計(jì)會(huì)帶來(lái) 1400 億美元的設(shè)備訂單。其中，中國(guó)大陸將會(huì)新增 8 家晶圓廠，這或許將為屹唐股份等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商帶來(lái)豐厚的營(yíng)收和利潤(rùn)。這樣的情況下，屹唐股份如果能夠成功上市，會(huì)對(duì)其接下來(lái)的市場(chǎng)份額爭(zhēng)奪有著積極的意義。
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