IT之家 7 月 6 日消息 據(jù)中國科學院網(wǎng)站,近日,中國科學院上海微系統(tǒng)所等合作在硅襯底上提出了基于布洛赫表面光場的非對稱傳輸特性實現(xiàn)超靈敏位移測量的方法,并實現(xiàn)了亞納米級的位移傳感。
光學手段為精密位移測量提供了非接觸的方案,可實現(xiàn)高靈敏度、高分辨率的位移檢測,在納米尺度位移傳感、半導體技術(shù)及量子技術(shù)等領(lǐng)域具有重要應用。
據(jù)介紹,該研究基于硅基襯底,利用不對稱狹縫形成納米天線調(diào)控布洛赫表面波,實現(xiàn)了布洛赫表面光場的非對稱傳輸,布洛赫表面波的不對稱光場對納米天線和入射高斯光場的相對位置具有超靈敏的依賴作用,通過對其遠場表征就可以獲得精確到亞納米量級靈敏度的位移傳感。
▲ Nanoscale 封面圖 | 圖源:中國科學院網(wǎng)站
該工作利用納米尺度的狹縫實現(xiàn)了布洛赫表面波的非對稱傳輸,通過連續(xù)改變光與狹縫的相對位置,在實驗上實現(xiàn)了對于位移的精確測量,靈敏度可達 0.12 nm-1,分辨率和量程達到 8 nm 和 300 nm。該研究為納米測量及超分辨顯微提供了新的物理原理,并為超靈敏的位移測量提供了精巧的微型化方案。
IT之家了解到,相關(guān)研究成果發(fā)表在 Nanoscale 上,并被選為當期封面文章。
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