近日，科翰龍自主研發(fā)的晶圓打碼機 WM-SC800R 通過驗收。
北京亦莊消息顯示，這是國內(nèi)首臺通過 FAB 廠（通常指半導(dǎo)體工廠）驗收的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的晶圓 (Wafer) ID 打碼設(shè)備。
圖片來源：北京亦莊
據(jù)介紹，兩年前，WM-SC800R 就在 FAB 廠的 8 英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線上進(jìn)行晶圓 (Wafer) ID 軟打碼測試及試生產(chǎn)。檢測結(jié)果優(yōu)良，該晶圓打碼機所加工的晶圓 (Wafer) ID 碼完全達(dá)到了 SEMI (半導(dǎo)體設(shè)備與材料的國際性組織) 標(biāo)準(zhǔn)的要求，達(dá)到了用戶關(guān)于軟打碼顆粒數(shù)的要求，完全達(dá)到了 ISO 1 級環(huán)境下的要求。
經(jīng)過兩年的測驗，今年 8 月，晶圓打碼機 WM-SC800R 終于正式通過驗收。
科翰龍副總經(jīng)理王向陽表示，為了打破國外公司在相關(guān)領(lǐng)域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術(shù)優(yōu)勢研發(fā)了晶圓 (Wafer) ID 打碼設(shè)備。WM-SC800R 在激光器的選用、光路的設(shè)計、晶圓定位的方法、設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計以及設(shè)備的整體控制及軟件編程上都是自主設(shè)計開發(fā)的，具有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。
科翰龍官網(wǎng)顯示，該公司致力于精密加工、激光加工及自動化技術(shù)在半導(dǎo)體微電子行業(yè)的應(yīng)用，主要開發(fā)和制造三類產(chǎn)品：晶圓激光打碼設(shè)備、晶圓倒角邊拋設(shè)備、單片濕式工藝設(shè)備。
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