芯東西 9 月 17 日?qǐng)?bào)道，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會(huì)。
華卓精科主營(yíng)業(yè)務(wù)為超精密測(cè)控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊、靜電卡盤、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。
光刻機(jī)工件臺(tái)是光刻機(jī)的 3 大核心部件之一，華卓精科是國(guó)內(nèi)首家自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)雙工件臺(tái)商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國(guó)內(nèi)光刻機(jī)龍頭上海微電子的供應(yīng)商。
目前，華卓精科的 DWS 系列雙工件臺(tái)可用于 65nm 及以上節(jié)點(diǎn)的 I-line、KrF 和 ArF 干式光刻機(jī)，但尚未通過上海微電子的驗(yàn)收。
今年 7 月 29 日，華卓精科的上市委會(huì)議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場(chǎng)詢問了有關(guān)其光刻機(jī)雙工件臺(tái)的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及 2019 年和 2020 年第四季度的大額銷售收入等事項(xiàng)。
報(bào)告期內(nèi)，華卓精科營(yíng)收呈遞增趨勢(shì)，2018 年、2019 年、2020 年其營(yíng)收分別為 8570 萬元、1.21 億元和 1.52 億元。
本輪 IPO，華卓精科計(jì)劃募資 7.35 億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測(cè)控產(chǎn)品長(zhǎng)三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項(xiàng)目、光刻機(jī)超精密位移測(cè)量及平面光柵測(cè)量技術(shù)研發(fā) 4 個(gè)項(xiàng)目。
▲ 華卓精科募集資金用途
華卓精科的董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司的控股股東和實(shí)際控制人，其實(shí)際控制股份比例為 54.23%。上會(huì)稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長(zhǎng)聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。
▲ 華卓精科股權(quán)結(jié)構(gòu)
01. 營(yíng)收持續(xù)增長(zhǎng)，超精密測(cè)控裝備為主要收入來源
根據(jù)上會(huì)稿，華卓精科在報(bào)告期內(nèi)營(yíng)收持續(xù)增長(zhǎng)，且增速較快。華卓精科 2018 年-2020 年各期營(yíng)收分別為 8570.92 萬元、1.21 億元和 1.52 億元。其 2019 年?duì)I收增幅達(dá) 41.14%，2020 年?duì)I收增幅則為 25.94%。
凈利潤(rùn)方面，華卓精科 2018 年、2019 年、2020 年凈利分別為 1512.36 萬元、2087.24 萬元和 1242.83 萬元。
上會(huì)稿稱，華卓精科其營(yíng)收增速較快主要是因?yàn)橄掠谓K端市場(chǎng)需求旺盛以及半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)的影響。2020 年，華卓精科凈利潤(rùn)下降較多，則由于其管理費(fèi)用、貸款利息、計(jì)提預(yù)計(jì)信用損失大幅增加。
▲ 華卓精科 2018 年-2020 年?duì)I收與凈利潤(rùn)變化
具體來說，華卓精科的營(yíng)收組成可分為超精密測(cè)控裝備部件、超精密測(cè)控裝備整機(jī)與其他 3 類。
其中，超精密測(cè)控裝備部件主要為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、光刻機(jī)雙工件臺(tái)模塊及技術(shù)開發(fā)、經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器 4 類；超精密測(cè)控裝備整機(jī)則可以分為晶圓級(jí)鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)與激光退火設(shè)備。
華卓精科的主要收入來源為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，在報(bào)告期內(nèi)其業(yè)務(wù)營(yíng)收組成比例波動(dòng)較大。2020 年光刻機(jī)雙工件臺(tái)收入占其總營(yíng)收的 11.42%，在 2019 年該項(xiàng)收入則為 0。
上會(huì)稿稱，光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)開發(fā)難度較大。2019 年，上海微電子作為國(guó)內(nèi)唯一的光刻機(jī)整機(jī)廠商未完成對(duì)合同內(nèi)容驗(yàn)收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為 0。
▲ 2018 年-2020 年華卓精科各業(yè)務(wù)收入占比變化
從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的企業(yè)，高?？蛻羰杖胝急容^低。中科飛測(cè)、上海微電子在報(bào)告期內(nèi)一直為華卓精科的前五大客戶。
2018 年-2020 年，華卓精科向前五大客戶的銷售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比例分別為 50.23%、53.57% 及 58.03%。雖然前五大客戶的銷售占比不高，但上海微電子是國(guó)內(nèi)唯一的光刻機(jī)整機(jī)廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機(jī)雙工件臺(tái)的商業(yè)化前景取決于上海微電子的光刻機(jī)整機(jī)銷售情況。
▲ 華卓精科報(bào)告期內(nèi)前五大客戶
在原材料采購(gòu)方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎(chǔ)材料、電氣類、機(jī)械類和光學(xué)類。2020 年，華卓精科對(duì)機(jī)械類和電氣類原材料采購(gòu)金額較高，占比合計(jì)達(dá) 76.39%。
2018 年-2020 年華卓精科向前五大供應(yīng)商合計(jì)采購(gòu)金額占比分別為 37.69%、29.41% 及 20.63%，呈下降趨勢(shì)。翟柯萊姆達(dá)、Zygo Corporation 和山東鑫磊精密機(jī)械有限公司在 2019 年和 2020 年是華卓精科的前五大供應(yīng)商。
▲ 華卓精科報(bào)告期內(nèi)前五大供應(yīng)商
02. 產(chǎn)品填補(bǔ)多項(xiàng)國(guó)產(chǎn)空白，光刻機(jī)雙工件臺(tái)存在制程差距
對(duì)光刻機(jī)市場(chǎng)來說，主要廠商有荷蘭 ASML 和日本尼康、佳能和中國(guó)上海微電子 4 家。
尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機(jī)的主要子系統(tǒng)均由整機(jī)廠研發(fā)和生產(chǎn)。ASML 早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負(fù)責(zé)整機(jī)的設(shè)計(jì)和子系統(tǒng)的需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商進(jìn)行生產(chǎn)。2010 年后，ASML 也開始自行設(shè)計(jì)工件臺(tái)。
上會(huì)稿指出，無論上述整機(jī)廠商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺(tái)均不單獨(dú)對(duì)外銷售。這也意味著華卓精科對(duì)于光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化替代較為重要。
和 ASML 所使用的光刻機(jī)雙工件臺(tái)對(duì)比，華卓精科的 DWS 系列產(chǎn)品和 ASML 的干式深紫外（DUV）光刻機(jī)雙工件臺(tái)處于同一架構(gòu)，但性能有所落后；華卓精科的浸沒式 DWSi 系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科并未推出產(chǎn)品。
截至最新的上會(huì)稿簽署，華卓精科 DWS 系列光刻機(jī)雙工件臺(tái)累計(jì)發(fā)貨 4 臺(tái)，仍處于與上海微電子光刻機(jī)整機(jī)集成、測(cè)試階段，尚未通過上海微電子的最終驗(yàn)收。
▲ 華卓精科光刻機(jī)雙工件臺(tái)與 ASML 所用工件臺(tái)對(duì)比
此外，在精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備、靜電卡盤等不同的市場(chǎng)，華卓精科還需要面對(duì)不同的國(guó)內(nèi)外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。這些對(duì)手既有 Aerotech、應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子、住友重工等國(guó)外巨頭，也有中微公司、長(zhǎng)川科技、北方華創(chuàng)等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。
相對(duì)來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢(shì)等差距。此外，華卓精科的晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，其光刻機(jī)雙工件臺(tái)也尚未通過下游客戶驗(yàn)收。在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。
▲ 華卓精科產(chǎn)品業(yè)務(wù)與行業(yè)龍頭差距以及產(chǎn)品量產(chǎn)情況
盡管華卓精科的產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白，促進(jìn)了半導(dǎo)體制造設(shè)備和核心部件的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。
截至 2021 年 6 月 30 日，華卓精科共擁有 198 項(xiàng)專利以及 1 項(xiàng)專利獨(dú)占權(quán)，其中包括發(fā)明專利 148 項(xiàng)、實(shí)用新型 43 項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì) 2 項(xiàng)、美國(guó)專利 5 項(xiàng)。
因?yàn)橹祆鲜乔迦A大學(xué)的長(zhǎng)聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切的技術(shù)交流、合作。上會(huì)稿寫道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報(bào)告期內(nèi)委托清華大學(xué)進(jìn)行了 65nm 雙工件臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)測(cè)試開發(fā)項(xiàng)目。
華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有的專利共計(jì) 162 項(xiàng)，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利 115 項(xiàng)、委托開發(fā)方式獲取的專利 30 項(xiàng)、合作研發(fā)方式獲取的專利 17 項(xiàng)，清華大學(xué)授權(quán)華卓精科獨(dú)占實(shí)施許可的專利 1 項(xiàng)。
▲ 華卓精科和清華大學(xué)共有專利、專利實(shí)施許可、技術(shù)轉(zhuǎn)讓情況
03. 研發(fā)團(tuán)隊(duì)占比超 30%，2 名核心技術(shù)人員系清華兼職
華卓精科研發(fā)人員共有 133 人，占員工總數(shù)比例為 33.08%。核心技術(shù)人員共有 7 人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠(yuǎn)、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。
朱煜 2001 年于中國(guó)礦業(yè)大學(xué)獲機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專業(yè)博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于中國(guó)礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004 年 10 月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人及國(guó)家 02 科技重大專項(xiàng)技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利 227 項(xiàng)，其中發(fā)明專利 173 項(xiàng)；他還發(fā)表了 200 余篇論文，出版專著 2 本。
2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨(dú)立董事；2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任華卓有限董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理；2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜為華卓精科董事長(zhǎng)；2015 年 9 月至今，他擔(dān)任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提的是，朱煜也是國(guó)產(chǎn) CMP 廠商華海清科的股東，擁有華海清科 4.98% 的股份。
▲ 華卓精科董事、首席科學(xué)家朱煜
張明 2005 年于清華大學(xué)獲機(jī)械工程專業(yè)博士學(xué)位。1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中國(guó)運(yùn)載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005 年 7 月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017 年 8 月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問；2018 年 2 月起，他開始擔(dān)任華卓精科董事。
張鳴曾參與過國(guó)家重大專項(xiàng)、973 計(jì)劃、863 計(jì)劃等 6 項(xiàng)國(guó)家級(jí)項(xiàng)目，發(fā)表論文 66 篇，其中 SCI 期刊收錄 17 篇。目前，張鳴擁有國(guó)家授權(quán)專利 164 項(xiàng)，其中發(fā)明專利 147 項(xiàng)。
當(dāng)前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學(xué)辦理兼職批復(fù)，繼續(xù)從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職的批復(fù)，則將從清華大學(xué)辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作。
▲ 華卓精科部分技術(shù)人員在清華大學(xué)任職情況
04. 朱煜實(shí)際控股比例過半
根據(jù)上會(huì)稿，朱煜直接持有華卓精科 35.72% 的股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有 5.45% 的股份。而華卓精科的徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮 7 名股東合計(jì)持有 13.06% 的公司股份，并于與朱煜保持一致行動(dòng)關(guān)系。所以朱煜實(shí)際控制的股份比例為 54.23%，是華卓精科的實(shí)際控制人和控股股東。
此外，持有華卓精科股份比例超過 5% 的股東還有水木愿景和水木長(zhǎng)風(fēng)兩家公司，持股比例分別為 8.75% 和 6.78%。華卓精科董事長(zhǎng)吳勇為水木愿景、水木長(zhǎng)風(fēng)和吳勇本人推薦擔(dān)任。
▲ 華卓精科股東名單
05. 結(jié)語：產(chǎn)學(xué)合作填補(bǔ)空白，需要面對(duì)多領(lǐng)域巨頭競(jìng)爭(zhēng)
與此前過會(huì)的華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)的技術(shù)積累，并通過“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補(bǔ)了我國(guó)光刻機(jī)工件臺(tái)這一半導(dǎo)體核心部件的空白。
因此，華卓精科如果能夠上市成功，對(duì)我國(guó)光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)替代有著積極意義。但同時(shí)，華卓精科的產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)模化量產(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟的行業(yè)獲得成功仍需觀望。
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