3 月 16 日，上海新陽(yáng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，針對(duì) Arf 光刻膠最新進(jìn)度的問(wèn)題作出回應(yīng)，稱近期公司已有 ArF 光刻膠產(chǎn)品，受疫情及客戶產(chǎn)線情況等各類因素影響導(dǎo)致認(rèn)證進(jìn)度較慢，但公司已有部分光刻膠產(chǎn)品取得客戶訂單。
另外，上海新陽(yáng)針對(duì)公司生產(chǎn)的 krf 光刻膠品質(zhì)與銷量也做出回應(yīng)，其稱公司生產(chǎn)的 KrF 光刻膠已經(jīng)拿到部分晶圓制造客戶訂單，并表示目前光刻膠訂單在上海生產(chǎn)，還未大規(guī)模量產(chǎn)。
資料顯示，上海新陽(yáng)目前主要從事兩類業(yè)務(wù)：一類是集成電路制造及先進(jìn)封裝用關(guān)鍵工藝材料及配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，并為客戶提供整體化解決方案；另一類是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)，并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務(wù)解決方案。其主要產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶圓制造及先進(jìn)封裝用電鍍液及添加劑、半導(dǎo)體晶圓制造用清洗劑、半導(dǎo)體封裝用電子化學(xué)材料、半導(dǎo)體制造用高端光刻膠產(chǎn)品、半導(dǎo)體配套設(shè)備產(chǎn)品。
上海新陽(yáng)迄今承擔(dān)國(guó)家 02 專項(xiàng)研發(fā)項(xiàng)目有：“65-45nm 芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”、“20-14nm 先導(dǎo)產(chǎn)品工藝開發(fā)”項(xiàng)目任務(wù)課題“高速自動(dòng)電鍍線研發(fā)與產(chǎn)業(yè)”項(xiàng)目、“銅互連電鍍工藝技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)”等。
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