集微網(wǎng)消息，消息人士稱，韓國(guó)設(shè)備廠商 Auros Technology 已經(jīng)從多家韓國(guó)和日本芯片制造商獲得了 8 英寸晶圓 overlay 測(cè)量設(shè)備的訂單，其 8 英寸 OL-100n 正在由多達(dá) 5 家公司進(jìn)行評(píng)估。
據(jù) TheElec 報(bào)道，隨著 8 英寸 SiC 和 GaN 芯片需求不斷增長(zhǎng)，全球?qū)?8 英寸晶圓的需求正在增加。Auros Technology 的 OL-100n 是對(duì)原來(lái)生產(chǎn) 12 英寸晶圓的設(shè)備進(jìn)行改進(jìn)后生產(chǎn)的，可支持 6 英寸和 8 英寸晶圓。
據(jù)了解，在晶圓制造過(guò)程中，設(shè)計(jì)好的電路圖要先刻在晶圓上，然后再對(duì)晶圓進(jìn)行切割和封裝。overlay 測(cè)量設(shè)備用于檢查晶圓上的電路圖案是否正確對(duì)齊，將這一過(guò)程直接影響晶圓制造的成品率。
Auros Technology 此前表示，其 OL-100n 設(shè)備可以對(duì)化學(xué)物質(zhì)做出靈活反應(yīng)并檢測(cè)電路團(tuán)，還具備測(cè)量硅片上的氧化物和鋁膜的功能。該設(shè)備正被中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)代工工廠采用，并被韓國(guó)研究機(jī)構(gòu)用于芯片研究。
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