芯東西 6 月 8 日?qǐng)?bào)道，剛剛，華海清科股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“華海清科”）成功登陸科創(chuàng)板，發(fā)行價(jià)為 136.66 元 / 股。
華海清科開(kāi)盤(pán)價(jià)為 235 元 / 股，漲幅達(dá) 72%。開(kāi)盤(pán)后，其股價(jià)略有波動(dòng)。截至芯東西成文，華海清科股價(jià)為 235.50 元 / 股，漲幅 72.33%，總市值 251 億元。
華海清科的主營(yíng)業(yè)務(wù)為 CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）設(shè)備，是目前國(guó)內(nèi)唯一一家能夠提供半導(dǎo)體 12 英寸 CMP 商業(yè)機(jī)型的廠商，其產(chǎn)品可覆蓋 8 英寸（200mm）、12 英寸（300mm）晶圓產(chǎn)線，已應(yīng)用于中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、英特爾等國(guó)內(nèi)外芯片廠商的產(chǎn)線中。
國(guó)家 02 專(zhuān)項(xiàng)總師葉甜春在上市儀式上評(píng)價(jià)道，華海清科作為 CMP 設(shè)備供應(yīng)商，不僅打入了晶圓產(chǎn)線，還成為了晶圓廠的主力供應(yīng)商，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的自主可控做出了較大貢獻(xiàn)。
CMP 是先進(jìn)集成電路制造前道工序、先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)必需的關(guān)鍵制程工藝。如果將芯片的制造比作房屋的修建，那么每一樓層都必須要十分平整，否則影響芯片整體性能，CMP 技術(shù)就是納米級(jí)芯片能夠被“平整搭建”的關(guān)鍵。
▲ CMP 平坦化效果圖
報(bào)告期內(nèi)，華海清科營(yíng)收增長(zhǎng)較快，2019 年-2021 年總營(yíng)收分別為 2.11 億元、3.86 億元和 8.05 億元。
截至招股書(shū)簽署日，清華大學(xué)擁有華海清科 37.854% 的股份，為公司實(shí)際控制人和間接控股股東。
本次 IPO，華海清科計(jì)劃募資 10 億元，將分別用于“高端半導(dǎo)體裝備（化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”、“高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)項(xiàng)目”、“晶圓再生項(xiàng)目”和“補(bǔ)充流動(dòng)資金”4 個(gè)項(xiàng)目，扣除發(fā)行費(fèi)用后共募集了 34.9 億元，超募近 2.5 倍。
▲ 華海清科計(jì)劃募資情況
01. 清華教授鉆研 20 余年，制出國(guó)內(nèi)首臺(tái) 12 英寸 CMP 設(shè)備
華海清科成立于 2013 年 4 月，總部位于天津市津南區(qū)海河科技園區(qū)，是天津市政府和清華大學(xué)踐行國(guó)家京津冀一體化戰(zhàn)略從而合資成立的企業(yè)。
華海清科成立時(shí)，創(chuàng)始股東分別為清控創(chuàng)投、康茂怡然、天津財(cái)投、科海投資和天津科融。清華大學(xué)旗下的清控創(chuàng)投以 30 項(xiàng) CMP 核心技術(shù)專(zhuān)利以知識(shí)產(chǎn)權(quán)出資的方式，占股 30.6%；CMP 技術(shù)的 3 位主要成果完成人路新春、雒建斌和朱煜，則通過(guò)康茂怡然，占股 20.4%；天津財(cái)投、科海投資和天津科融則分別占股 20%、19% 和 10%。
成立后，華海清科研制成功了國(guó)內(nèi)首臺(tái) 12 英寸 CMP 設(shè)備 Universal-300，2015 年該設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際產(chǎn)線，華海清科也承擔(dān)了國(guó)家 02 重大專(zhuān)項(xiàng)。如今，華海清科產(chǎn)品已包括 8 英寸 CMP 設(shè)備、12 英寸 CMP 設(shè)備和 12 英寸減薄拋光一體設(shè)備。
▲ 華海清科發(fā)展歷程
華海清科董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春，是華海清科技術(shù)上的核心人物。
根據(jù)清華大學(xué)報(bào)道，2000 年起，路新春團(tuán)隊(duì)就開(kāi)始了對(duì) CMP 設(shè)備的研究，承擔(dān)了國(guó)家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項(xiàng)，研制出了中國(guó)第一臺(tái) 12 英寸“干進(jìn)干出”銅制程拋光機(jī)。
路新春本、碩就讀于吉林大學(xué)，之后在中國(guó)科學(xué)院金屬研究所獲得了博士學(xué)位。1994 年 4 月，他進(jìn)入清華大學(xué)博士后和講師工作。1996 年-2012 年，路新春歷任清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系副教授、教授，2013 年后為清華大學(xué)機(jī)械工程系教授、首席研究員。華海清科創(chuàng)辦后，路新春為公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理，2014 年 7 月兼任清華大學(xué)天津高端裝備研究院副院長(zhǎng)，2020 年辦理離崗創(chuàng)業(yè)。
▲ 華海清科董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春
02. 2021 年?duì)I收猛增 4 億元，關(guān)鍵零部件已培養(yǎng)國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商
根據(jù)招股書(shū)，華海清科的主要收入來(lái)自于 CMP 設(shè)備的銷(xiāo)售，作為國(guó)內(nèi)唯一具備 CMP 設(shè)備商業(yè)化的企業(yè)，其在全球及國(guó)內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)的影響下，實(shí)現(xiàn)了營(yíng)收的快速增長(zhǎng)。
2019 年-2021 年，華海清科各期營(yíng)收分別為 2.11 億元、3.86 億元和 8.05 億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率為 95.34%。
利潤(rùn)方面，2019 年-2021 年，華海清科的凈利潤(rùn)也隨營(yíng)收快速增長(zhǎng)，各期凈利潤(rùn)分別為-1.54 億元、0.98 億元和 1.98 億元。
▲ 2019 年-2021 年華海清科營(yíng)收及凈利潤(rùn)變化
報(bào)告期內(nèi)，華海清科各期研發(fā)投入分別為 4496.99 萬(wàn)元、5836.17 萬(wàn)元和 1.19 億元，分別占營(yíng)收的 21.32%、15.12% 和 14.82%。
目前，華海清科的 CMP 設(shè)備主要分為 300 系列和 200 系列，其中 300 系列主要應(yīng)用于 12 英寸芯片產(chǎn)線，200 系列設(shè)備則用于 8 英寸產(chǎn)線。
其中 300 系列設(shè)備為華海清科的主要收入來(lái)源，2019 年-2021 年該業(yè)務(wù)收入占營(yíng)收比例均超過(guò) 84%。
▲ 2019 年-2021 年華海清科各業(yè)務(wù)營(yíng)收占比
客戶方面，長(zhǎng)江存儲(chǔ)自 2019 年來(lái)一直為華海清科的第一大客戶。2021 年長(zhǎng)江存儲(chǔ)大力擴(kuò)產(chǎn)、投資，華海清科對(duì)其銷(xiāo)售額在當(dāng)年占比達(dá) 66.37%。此外，中芯國(guó)際和華虹集團(tuán)也一直位列華海清科的前三大客戶。
需指出的是，長(zhǎng)江存儲(chǔ)為清華控股控制的其他企業(yè)；華海清科總經(jīng)理張國(guó)銘則在華虹集團(tuán)擔(dān)任外部董事。
▲ 2019 年-2021 年華海清科前五大客戶
當(dāng)前中美貿(mào)易關(guān)系較為緊張，華海清科零部件的國(guó)產(chǎn)化情況在之前科創(chuàng)板注冊(cè)時(shí)，受到了上交所的關(guān)注。
上市文件指出，其設(shè)備前端模塊（傳片模塊）主要產(chǎn)地為日本，主要供應(yīng)商為 RORZE CORPORATION 等；流量控制器、波紋管等液路元件來(lái)自于日本東京計(jì)裝；其機(jī)械類(lèi)通用部件則來(lái)自于美國(guó)。
其中設(shè)備前端模塊為半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用零部件，華海清科已培養(yǎng)了新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司、北京和崎精密科技有限公司等國(guó)內(nèi)供應(yīng)商；液路元件和機(jī)械類(lèi)通用零部件則非半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用，受?chē)?guó)際貿(mào)易摩擦影響較小。
報(bào)告期內(nèi)，北京錦通昌精密機(jī)械設(shè)備公司一直是華海清科的第一大零部件供應(yīng)商。
▲ 2019 年-2021 年華海清科前五大供應(yīng)商
03. 打破美、日巨頭壟斷，產(chǎn)品正進(jìn)行 14nm 驗(yàn)證
從全球 CMP 設(shè)備市場(chǎng)來(lái)看，美國(guó)應(yīng)用材料和日本荏原是行業(yè)內(nèi)的頭部玩家。根據(jù)美國(guó)市場(chǎng)研究公司 Gartner 數(shù)據(jù)，2020 年全球 CMP 設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 16.3 億美元，而應(yīng)用材料和日本荏原兩家公司所占市場(chǎng)份額在 90% 左右。
尤其是在 14nm 及以下的先進(jìn)制程產(chǎn)線上，芯片制造廠商所應(yīng)用的 CMP 設(shè)備僅由這兩家國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭提供。
▲ 華海清科與應(yīng)用材料、荏原對(duì)比
國(guó)內(nèi)的 CMP 設(shè)備廠商則有華海清科、北京爍科精微電子裝備有限公司和中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所等，目前華海清科是唯一實(shí)現(xiàn) 12 英寸系列 CMP 設(shè)備量產(chǎn)銷(xiāo)售的企業(yè)。
中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹無(wú)錫、上海華力一二期項(xiàng)目和上海積塔在 2019 年-2021 年共招標(biāo)采購(gòu) 181 臺(tái) CMP 設(shè)備，華海清科共中標(biāo) 68 臺(tái)，占比 37.57%，12 英寸 CMP 設(shè)備其余份額由應(yīng)用材料和荏原所取得。
不過(guò) 2019 年-2021 年，華海清科中標(biāo)設(shè)備數(shù)量占比逐年增長(zhǎng)，2021 年其中標(biāo)設(shè)備占比達(dá) 44.26%。在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上，華海清科已開(kāi)始對(duì)美國(guó)應(yīng)用材料、日本荏原兩家公司的市場(chǎng)份額發(fā)起挑戰(zhàn)。
毛利率方面，A 股尚無(wú)專(zhuān)業(yè)生產(chǎn) CMP 設(shè)備的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，且應(yīng)用材料和荏原均生產(chǎn)多種專(zhuān)業(yè)設(shè)備，并未單獨(dú)列出 CMP 設(shè)備相關(guān)財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)。
相比于中微公司、北方華創(chuàng)、芯源微和盛美上海等 A 股其他半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，華海清科毛利率在 2019 年和 2020 年低于平均值，在生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)大后的 2021 年其毛利率達(dá) 44.73%，超過(guò)上述可比公司平均水平。
▲ 華海清科與同行業(yè)可比公司毛利率對(duì)比
制程上，目前華海清科的 CMP 設(shè)備主要應(yīng)用于 28nm 及以上的制程產(chǎn)線，并已有機(jī)臺(tái)在客戶端做 14nm 產(chǎn)線驗(yàn)證，仍和應(yīng)用材料和荏原存在一定技術(shù)差距。
截至 2021 年末，華海清科研發(fā)人員共有 224 人，占總?cè)藬?shù)比例達(dá) 32.37%。其中核心技術(shù)人員有董事長(zhǎng)兼首席科學(xué)家路新春、副總經(jīng)理王同慶、副總經(jīng)理趙德文、副總經(jīng)理沈攀、供應(yīng)鏈總監(jiān)裴召輝、監(jiān)事兼工程技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)許振杰、工程技術(shù)中心部門(mén)資深經(jīng)理田芳馨和工程技術(shù)中心部門(mén)資深經(jīng)理兼總經(jīng)辦主任郭振宇 8 人。
路新春為華海清科的董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家，曾獲長(zhǎng)江學(xué)者、國(guó)際 ICPT 執(zhí)委等榮譽(yù)，累計(jì)獲已授權(quán)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利超過(guò) 100 項(xiàng)。
截至 2020 年 12 月 31 日，路新春發(fā)表 CMP 相關(guān) SCI 論文 86 篇，每篇文章平均被引用超過(guò) 10 次，位居全球 CMP 設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)專(zhuān)家前三名，也是全球 CMP 設(shè)備技術(shù)授權(quán)專(zhuān)利獲得最多的專(zhuān)家。
▲ 華海清科董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春
王同慶為博士學(xué)歷，畢業(yè)于清華大學(xué)機(jī)械工程專(zhuān)業(yè)，曾任清華大學(xué)精密儀器系博士后、清華大學(xué)機(jī)械工程系助理研究員、副研究員（2020 年 9 月辦理離崗創(chuàng)業(yè)）。2013 年 4 月至今，他歷任華海清科研發(fā)總監(jiān)、總經(jīng)理助理和副總經(jīng)理等職。王同慶已發(fā)表 CMP 相關(guān) SCI 論文 30 余篇，并作為發(fā)明人獲得授權(quán)專(zhuān)利 77 項(xiàng)。
趙德文博士畢業(yè)于清華大學(xué)機(jī)械工程專(zhuān)業(yè)，曾為清華大學(xué)精密儀器系博士后、清華大學(xué)機(jī)械工程系助理研究員、副研究員（2020 年 9 月辦理離崗創(chuàng)業(yè)）、華海清科總經(jīng)理助理、技術(shù)總監(jiān)、副總經(jīng)理等職。他已發(fā)表 CMP 相關(guān)論文 30 余篇，SCI 收錄 20 余篇，并獲得 2 項(xiàng)國(guó)際學(xué)術(shù)獎(jiǎng)和授權(quán)專(zhuān)利 95 項(xiàng)。
沈攀碩士畢業(yè)于中國(guó)地質(zhì)大學(xué)（北京）機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專(zhuān)業(yè)，2009 年 6 月至 2013 年 8 月任清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室工程師；2013 年 8 月至今任華海清科副總經(jīng)理。他主要負(fù)責(zé)晶圓傳輸及拋光修整技術(shù)研發(fā)，獲得授權(quán)專(zhuān)利 60 項(xiàng)。
裴召輝碩士畢業(yè)于機(jī)械科學(xué)研究總院武漢材料保護(hù)研究所機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專(zhuān)業(yè)，2009 年-2013 年任清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室機(jī)械工程師，2013 年 8 月加入華海清科，至今擔(dān)任采購(gòu)部經(jīng)理和供應(yīng)鏈總監(jiān)職務(wù)，其作為發(fā)明人獲得授權(quán)專(zhuān)利 8 項(xiàng)。
許振杰碩士畢業(yè)于中國(guó)礦業(yè)大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專(zhuān)業(yè)，曾任清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室工程師、華海清科工程技術(shù)中心部門(mén)資深經(jīng)理、技術(shù)總監(jiān)、監(jiān)事等職，獲得授權(quán)專(zhuān)利 54 項(xiàng)。
田芳馨碩士畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程專(zhuān)業(yè)，2009 年 7 月至 2013 年 8 月任清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室軟件工程師；2013 年 9 月至今歷任華海清科工程技術(shù)中心部門(mén)副經(jīng)理、經(jīng)理、資深經(jīng)理等職，獲授權(quán)專(zhuān)利 10 項(xiàng)。
郭振宇畢業(yè)于清華大學(xué)電氣工程專(zhuān)業(yè)，碩士研究生學(xué)歷，曾任清華紫光英力化工技術(shù)有限責(zé)任公司項(xiàng)目經(jīng)理、清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室電氣工程師等職。2013 年 8 月，郭振宇加入華海清科，主要負(fù)責(zé) CMP 裝備自動(dòng)控制研究與開(kāi)發(fā)，歷任工程技術(shù)中心部門(mén)經(jīng)理、資深經(jīng)理兼總經(jīng)辦主任，獲授權(quán)專(zhuān)利 8 項(xiàng)。
04. 四川省國(guó)資委或?qū)⒊蔀閷?shí)控人，中芯系已入股
截至招股書(shū)簽署日，清華大學(xué)擁有華海清科 37.854% 的股份，為公司實(shí)際控制人和間接控股股東。
▲ 華海清科股權(quán)結(jié)構(gòu)圖
但值得注意的是清華大學(xué)于 2021 年 12 月 10 日和四川省能源投資集團(tuán)有限責(zé)任公司簽署了《國(guó)有產(chǎn)權(quán)無(wú)償劃轉(zhuǎn)協(xié)議》，擬通過(guò)無(wú)償劃轉(zhuǎn)方式將所持清華控股的 100% 股權(quán)劃轉(zhuǎn)給四川能投。
該協(xié)議生效后，華海清科的間接控股股東為四川能投，四川省國(guó)資委將成為公司實(shí)際控制人。
▲ 轉(zhuǎn)讓協(xié)議生效后華海清科與四川省國(guó)資委股權(quán)關(guān)系
截至 2022 年 4 月 30 日，華海清科的股權(quán)無(wú)償劃轉(zhuǎn)及重組方案已獲得國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局決定書(shū)，清華大學(xué)將清華控股 100% 股權(quán)劃轉(zhuǎn)至四川省國(guó)資委的事項(xiàng)已分別獲得四川省國(guó)資委和中華人民共和國(guó)教育部的批復(fù)。
四川省國(guó)資委將清華控股 100% 股權(quán)以股權(quán)投資方式，投入四川能投相關(guān)具體事項(xiàng)則尚需獲得四川省國(guó)資委進(jìn)一步批復(fù)。
此外，國(guó)開(kāi)科創(chuàng)、浙創(chuàng)投、中芯海河、武漢建芯等重要的產(chǎn)業(yè)基金也均有投資。
▲ 華海清科前 10 大股東
05. 結(jié)語(yǔ)：全球擴(kuò)產(chǎn)熱推動(dòng)營(yíng)收、凈利猛增，未來(lái)仍需面對(duì)激烈競(jìng)爭(zhēng)
華海清科為下游的國(guó)產(chǎn)芯片制造廠商提供了自主、可控的 12 英寸 CMP 半導(dǎo)體設(shè)備選擇，打破了美國(guó)、日本半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的壟斷，有利于 CMP 設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)以及下游芯片制造廠商的成本把控。本次 IPO，華海清科將有更多的資金可以投入先進(jìn)制程 CMP 設(shè)備的研發(fā)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，有利于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的發(fā)展。
近兩年，全球缺芯推動(dòng)了晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)熱潮，華海清科獲得了國(guó)內(nèi)長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際和華虹集團(tuán)等龍頭企業(yè)的 CMP 設(shè)備訂單，營(yíng)收和凈利潤(rùn)增長(zhǎng)迅猛。但同時(shí)，半導(dǎo)體行業(yè)存在周期性，在各地晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)建成后，芯片短缺將有所緩解，其半導(dǎo)體設(shè)備訂單或有所下降。
這樣的情況下，華海清科不僅有可能要面對(duì)營(yíng)收下降，還要面對(duì)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備龍頭的市場(chǎng)和技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)，或?qū)⒂休^大的生存壓力。
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