研究機(jī)構(gòu) TECHCET 日前發(fā)布報(bào)告，預(yù)測(cè) 2022 年全球電子氣體市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到約 68 億美元，同比增速達(dá)到 8%，并預(yù)計(jì)到 2026 年，電子氣體市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到每年 90 億美元。
TECHCET 稱，市場(chǎng)增長(zhǎng)動(dòng)能主要源于特種氣體，先進(jìn)制程邏輯、存儲(chǔ)產(chǎn)品工藝復(fù)雜，工序增加，帶動(dòng)刻蝕氣、光刻氣等各類特種氣體需求，預(yù)計(jì)這一細(xì)分市場(chǎng)增速今年將達(dá)到 10%。
TECHCET 警告稱，在供應(yīng)方面，除氖氣外，氦氣也正遭受俄烏沖突影響，加之其他產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)、儲(chǔ)運(yùn)問(wèn)題，使供應(yīng)鏈進(jìn)一步繃緊。
展望未來(lái)數(shù)年，隨著全球新建晶圓產(chǎn)能陸續(xù)開(kāi)出，三氟化氮 (NF3)、六氟化鎢 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等關(guān)鍵氣體供需也將隨之緊張，TECHCET 特別指出，用于工藝腔室清潔的 NF3 可能出現(xiàn)供不應(yīng)求。
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