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專家:半導(dǎo)體行業(yè)開啟“材料時代”,先進材料和清洗方案比光刻機更重要

2023/12/27 14:27:30 來源:IT之家 作者:故淵 責編:故淵

IT之家 12 月 27 日消息,行業(yè)專家表示,半導(dǎo)體行業(yè)在過去 20 多年時間里,光刻領(lǐng)域的進步,主要由特殊設(shè)備決定的;而在未來 10 年里,將過渡到“材料時代”。

圖源:Entegris

美國耗材供應(yīng)商 Entegris 首席技術(shù)官 James O'Neill 表示,當前半導(dǎo)體行業(yè)掌控“更精細”工藝技術(shù)的角色,已經(jīng)從光刻設(shè)備遷移到用于硅晶圓加工的先進材料和清洗解決方案上。

O'Neill 表示材料領(lǐng)域的創(chuàng)新,是推動半導(dǎo)體元件生產(chǎn)率提高的關(guān)鍵。

默克集團電子業(yè)務(wù)總經(jīng)理凱?貝克曼(Kai Beckmann)同樣支持上述觀點,表示未來 10 年會是“材料時代”。

貝克曼表示光刻工具固然非常重要,但現(xiàn)在更重要的是材料。這句話不僅適用于邏輯芯片,也適用于存儲芯片。

O'Neill 表示當前生產(chǎn) 3D 晶體管芯片,就像是通過直升機,將化學(xué)品和各種耗材噴漆到建筑物上,如何掌控噴灑實現(xiàn)均勻涂層,成為未來半導(dǎo)體高精度加工的關(guān)鍵。

新一代化學(xué)品必須能夠?qū)柙剡M行高精度加工,其相互作用實際上發(fā)生在原子水平上。所用溶液的純度尤為重要,因為它直接影響芯片生產(chǎn)中的錯誤率。

IT之家注:目前半導(dǎo)體芯片主要使用銅作為導(dǎo)體,但伴隨著尺寸的縮小,半導(dǎo)體行業(yè)開始尋找鉬等新材料,而整個探索過程影響了半導(dǎo)體行業(yè)的整個發(fā)展過程。

這涉及大量投資,使該行業(yè)的新來者幾乎不可能在市場上站穩(wěn)腳跟,Entegris 首席執(zhí)行官 Bertrand Loy 認為,該行業(yè)的發(fā)展方向?qū)⒗^續(xù)由現(xiàn)有力量決定。

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關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體,光刻機

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