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新松公司攻克新一代真空機械手:可傳輸晶圓,重復(fù)定位精度 0.02mm

2024/8/25 9:38:52 來源:IT之家 作者:沛霖(實習) 責編:沛霖

IT之家 8 月 25 日消息,8 月 21 日~25 日,2024 世界機器人大會在北京舉行,169 家企業(yè)展出 600 余件創(chuàng)新產(chǎn)品。

據(jù)介紹,真空機械手是芯片制造過程中,負責不同工位之間晶圓傳輸?shù)年P(guān)鍵設(shè)備,在尖端工藝制程中重復(fù)定位精度要求達到了 0.02mm,相當于一根頭發(fā)絲直徑的 1/5,該設(shè)備長期被國外企業(yè)壟斷,是名副其實的“卡脖子”技術(shù)。

▲ 新松 Centaur 真空機械手

新松公司自主攻克新一代真空機械手技術(shù),并實現(xiàn)在中國最先進芯片制造工廠的批量應(yīng)用。

新松 Centaur 真空機械手擁有領(lǐng)先的重復(fù)定位精度、碰撞保護以及 AWC 智能動態(tài)糾偏等功能,機械手采用雙獨立設(shè)計,兩只手臂不受彼此影響?yīng)毩⑦M行取放片工作,相比傳統(tǒng)機械手的傳輸效率大幅提升,可勝任不同尺寸規(guī)格的晶圓搬運。

▲ 雙臂具身智能抓取站

IT之家注意到,新松公司還展出了雙臂具身智能抓取站、工業(yè)機器人 3D 視覺免示教系統(tǒng)、特種機器人等相關(guān)機器人產(chǎn)品 / 系統(tǒng)。

▲ 工業(yè)機器人 3D 視覺免示教系統(tǒng)

▲ 特種機器人產(chǎn)品

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