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世界首臺,國鏡儀器自主研發(fā)的臺式冷場掃描電子顯微鏡在合肥發(fā)布

2024/10/20 19:07:31 來源:IT之家 作者:沛霖(實習) 責編:沛霖

IT之家 10 月 20 日消息,據(jù)科大硅谷,其招引企業(yè)合肥國鏡儀器科技有限公司發(fā)布了自主研發(fā)的世界首臺冷場臺式電鏡,標志著國內(nèi)冷場掃描電鏡領(lǐng)域實現(xiàn)了零的突破

▲ 圖源科大硅谷,下同

IT之家獲悉,冷場電子光學技術(shù)相對于熱發(fā)射和熱場技術(shù),具有高亮度、低色差等優(yōu)點,然而通常也需要更高的真空要求(10-9Pa)和較高的引出電壓(6-8kV),目前為海外少數(shù)企業(yè)所掌握。

掃描電子顯微鏡(SEM)作為高端儀器裝備,是納米尺度下微觀檢測的核心主力儀器,被廣泛應用于高??蒲小⒐I(yè)檢測等高端研究應用領(lǐng)域,對新材料、新能源等強依賴納米尺度技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)方向有極其重要的支撐和推動作用。

▲ 產(chǎn)品拍攝樣片

此次發(fā)布的冷場電鏡產(chǎn)品(MicroST DCF-100),以冷場電子發(fā)射技術(shù)和電子光學控制技術(shù)為核心,配套信號檢測分析技術(shù)、真空腔體設計技術(shù)等多項國鏡獨有的關(guān)鍵技術(shù),具備超高分辨率、高亮度、小交叉斑直徑、低能量色散等特性,在低加速電壓下相比傳統(tǒng)產(chǎn)品有更好的性能表現(xiàn)。

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關(guān)鍵詞:電子顯微鏡,國鏡儀器

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