IT之家 1 月 24 日消息，日本兩大紙業(yè)巨頭之一的王子控股（Oji Holdings）正在向一家木制材料綜合企業(yè)轉(zhuǎn)型，其最新目標(biāo)是開發(fā)一種采用木基生物質(zhì)材料的正性光刻膠，目標(biāo)到 2028 年實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。
王子控股在光刻膠生產(chǎn)上的技術(shù)路線是從木材中提取可用于光刻膠的前體材料，然后將前體材料和特定溶劑混合聚合（并采用凈化技術(shù)去除雜質(zhì)），這樣就得到了光刻膠成品。王子控股宣稱其木基光刻膠可滿足 2nm 先進(jìn)制程需求。
傳統(tǒng)的正性光刻膠通常需要添加有害的“永久化學(xué)品”PFAS 來提高光敏度，而王子控股的木基光刻膠在 EUV 極紫外光下的降解速率比傳統(tǒng)產(chǎn)品高出 8 倍，這消除了 PFAS 的使用需求，更為環(huán)保的同時(shí)也可提升先進(jìn)制程圖案化的質(zhì)量。
此外傳統(tǒng)光刻膠多為石油基塑料，木基光刻膠在原料上也可減少溫室氣體的排放。
王子控股表示，其在木基光刻膠上的商業(yè)目標(biāo)是到本世紀(jì) 30 年代每年實(shí)現(xiàn) 100 億日元（IT之家備注：當(dāng)前約 4.67 億元人民幣）的銷售額。
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