據(jù)臺(tái)媒《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》今天下午援引業(yè)界消息稱,臺(tái)積電首臺(tái)ASML High NA EUV光刻系統(tǒng)設(shè)備本月將進(jìn)機(jī),這將使其“持續(xù)領(lǐng)先”三星晶圓代工的交機(jī)進(jìn)度。
臺(tái)積電海外營(yíng)運(yùn)資深副總經(jīng)理暨副共同營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)張曉強(qiáng)表示,仍在評(píng)估 High NA EUV 應(yīng)用于未來(lái)制程節(jié)點(diǎn)的成本效益與可擴(kuò)展性,目前采用時(shí)間未定。