IT之家 10 月 8 日消息，國家市場監(jiān)督管理總局今日發(fā)布消息，市場監(jiān)管總局新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質 3 項國家一級標準物質，能夠同時滿足納米制造產業(yè)角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。
國家市場監(jiān)督管理總局計量司介紹稱，研制高精度的納米級標準物質，是打造高準確度納米測量傳遞鏈，提升國產納米制造產品質量可靠性的關鍵。
標準物質研制單位同濟大學相關專家表示，二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在 0.001° 量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。
二維鉻納米柵格的結構面積一般為 300μm×300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用 2μm×2μm，不重復使用測量區(qū)域次數(shù)可達 20000 次以上。可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準，也可應用于對超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準。
國家市場監(jiān)督管理總局表示，納米級角度標準物質的研制成功，實現(xiàn)了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統(tǒng)逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計量現(xiàn)場，為我國納米制造產業(yè)高質量發(fā)展提供有力支撐。
下一步，市場監(jiān)管總局將持續(xù)強化納米測量領域標準物質研制應用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題。
IT之家從公開資料獲悉，國家市場監(jiān)督管理總局計量司，承擔國家計量基準、計量標準、計量標準物質和計量器具管理工作，組織量值傳遞溯源和計量比對工作；承擔國家計量技術規(guī)范體系建立及組織實施工作；承擔商品量、市場計量行為、計量仲裁檢定和計量技術機構及人員監(jiān)督管理工作；規(guī)范計量數(shù)據(jù)使用。
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